融液成長法

ユウエキセイチョウホウ

単結晶酸化ガリウム基板の融液成長法の一例

溶融した材料を用いた単結晶成長方法。半導体基板作製に適用した場合の特徴として、(1) 単結晶基板の大型化が容易、(2) 作製時に高温・高圧といった条件が不要なため低エネルギー・低コストでの作製が可能、(3)原料効率が高い等が挙げられる。これらの特徴から、実際の生産に非常に適した方法である。